氣體質(zhì)量流量儀采用新MEMS技術(shù)封裝的質(zhì)量傳感器，具有高靈敏度，能檢測微小流量、高精度流量的計量檢測，對溫度、壓力、流速進行全面自動補償?shù)母咝阅苎鯕饬髁坑嬃績x器。于醫(yī)院中心供氧系統(tǒng)對該科室的核算；流量可達12m³/h，用于一般普通科室。
　　工作條件
　　1.1.1　使用環(huán)境條件：環(huán)境溫度0℃～+40℃、相對濕度15％～80％、大氣壓強（86～106）kPa；
　　1.1.2　公稱壓力：0.4MPa；
　　1.1.3　工作壓力：氣體質(zhì)量流量儀的工作壓力范圍為0～0.6MPa；
　　1.1.4　流量范圍：2L/min～200L/min；
　　1.1.5　安裝條件：傳感器應(yīng)水平或垂直安裝（氣體流向自下而上）在與其公稱通徑相應(yīng)的管道上；
　　1.1.6　公稱通徑：12mm；
　　1.1.7　供電電源：氣體質(zhì)量流量儀由頻率為50Hz，電壓有效值為220V交流電源供電；
　　1.1.8 外型尺寸：190mm×70mm×128mm；
　　1.1.9 電子顯示瞬時流量小讀數(shù)為1L/min，LED3位（999L/min）；電子顯示累積流量小讀數(shù)為0.01m3（10L），LED7位（99999.99m3），均采用十進制。